חיישן טמפרטורה ולחות עבור מערכת בקרת לחות בטמפרטורת חדר נקי מוליכים למחצה
תערוכת מוצר
הטמפרטורהולחות של חלל נקי נקבעת בעיקר על פי דרישות התהליך, אך בתנאי עמידה בדרישות התהליך, יש לקחת בחשבון את תחושת הנוחות.עם השיפור בדרישות ניקיון האוויר, חלה מגמה של יותר ויותר דרישות מחמירות לטמפרטורה ולחות.
ככל שדיוק העיבוד הוא יותר ויותר עדין, כך טווח תנודות הטמפרטורה קטן ופחות.לדוגמה, בתהליך החשיפה הליטוגרפי של ייצור מעגלים משולבים בקנה מידה גדול, ההבדל של מקדם ההתפשטות התרמית בין זכוכית לפריקת סיליקון כחומר מסכה נדרש להיות קטן יותר ויותר.קוטר פרוסת סיליקון 100 אום, עליית טמפרטורה 1 מעלה, תגרום להתפשטות ליניארית של 0.24um, ולכן חייבת להיות טמפרטורה של ±0.1 מעלות, יחד עם זאת ערך הלחות נמוך בדרך כלל, כי אנשים מזיעים, המוצר יהיה זיהום, מפחד במיוחד מסדנת מוליכים למחצה נתרן, סדנה זו לא תעלה על 25 מעלות.
לחות גבוהה גורמת ליותר בעיות.כאשר הלחות היחסית עולה על 55%, ייווצר טל על דופן צינור מי הקירור, מה שיגרום לתאונות שונות אם זה יקרה במכשירים או מעגלים מדויקים.כאשר הלחות היחסית היא 50%, קל להחליד.בנוסף, כאשר הלחות גבוהה מדי, האבק הדבוק על פני שבב הסיליקון ייספג כימית על פני השטח כדי להתנגד להסרה.ככל שהלחות היחסית גבוהה יותר, קשה להסיר את ההידבקות, אך כאשר הלחות היחסית נמוכה מ-30%, קל לספוג את החלקיקים על פני השטח עקב פעולת הכוח האלקטרוסטטי, ומספר רב של מכשירים מוליכים למחצה נוטה להתמוטטות.טווח הטמפרטורות האופטימלי לייצור פרוסות הוא 35-45%.
לכן, בקרת הטמפרטורה והלחות חשובה במיוחד, HENGKO יכול לספק לך סדרה שלפתרונות עיבוד מותאמים אישית של משדר טמפרטורה ולחות!
חיישן טמפרטורה ולחות עבור מערכת בקרת לחות בטמפרטורת חדר נקי מוליכים למחצה
לא מוצאים מוצר שעונה על הצרכים שלכם?צור קשר עם צוות המכירות שלנו עבורשירותי התאמה אישית של OEM/ODM! 
