מסנני אטם C להרכבה משטחית של IGS בעלי ביצועים גבוהים עבור מערכות אספקת גז מוליכים למחצה
תֵאוּר
מסנני HENGKO להרכבה עילית מתוכננים לעמוד בדרישות התובעניות של מערכות גז משולבות המשמשות בכלי OEM של מוליכים למחצה. מסננים אלה, המציעים סינון מוביל בתעשייה בעובי של 0.003 מיקרון, מבטיחים ביצועים ואמינות יוצאי דופן עם יעילות יירוט חלקיקים של ≥99.9999999% (9-LRV) ב-120 slpm.
המסננים, הבנויים מאבקת פלדת אל-חלד 316L חזקה המסונטרת עבור גוף המסנן והבית, תואמים למפרט SEMI F86-0304, וכוללים רכיבים דו-פתחיים המותאמים למערכות חלוקת גז בגודל 1.125 אינץ' עם תצורת C-seal. הם תומכים בלחץ כניסה מרבי של 3.4 מגה פסקל ב-100 מעלות צלזיוס ובהפרש לחץ פעולה מרבי של 0.69 מגה פסקל ב-100 מעלות צלזיוס.
מסננים מיוחדים אלה, התואמים למפרטי אטמים מסוג C וסוג W, משיגים ניקיון במורד הזרם עם שחרור חלקיקים של
עם גימור משטח של Ra< 1.6 מיקרומטר בצד החיצוני ו-Raבעובי פנימי של פחות מ-0.13 מיקרומטר, הם מתוכננים לעמוד בטמפרטורות גבוהות של עד 460 מעלות צלזיוס. מסננים אלה, המתוכננים לשילוב קל ושדרוגי עיצוב מודולריים, מפשטים את ההתקנה והתחזוקה, ועוזרים לייעל את ביצועי המערכת ביישומי אספקת ובקרה של גז מוליך למחצה.
תכונת מוצר
▶ מבנה כולל מפלדת אל-חלד 316L
▶ עיצוב מיניאטורי, מבנה קומפקטי, חיסכון במקום
▶ מאפייני החלפת גז ודסורציה מצוינים
▶ עמיד בפני טמפרטורה גבוהה, לחץ גבוה וקורוזיה
▶ מארז נירוסטה 316L מלוטש אלקטרו
▶ התקנה ותחזוקה קלים ויעילים
▶ איטום מכני, לא מרותך מבחינה מבנית למדיום
גיליון נתונים
| פרמטרים טכניים | ערכים |
|---|---|
| חומר אלמנט המסנן | אבקת סינטרה מפלדת אל-חלד 316L |
| חומר דיור | נירוסטה 316L |
| לחץ כניסה מקסימלי | 3.4 מגה פסקל ב-100 מעלות צלזיוס |
| הפרש תפעולי מקסימלי | 0.69 מגה פסקל ב-100 מעלות צלזיוס |
| קצב דליפת אימות הליום | 1x10⁻¹¹ סמ"ק/דקה |
| קצב דליפת בדיקת הליום | 1x10⁻⁹ סמ"ק/דקה |
| טיפול פני השטח | משטח חיצוני Ra< 1.6 מיקרומטר |
| פני השטח הפנימיים Ra< 0.13 מיקרומטר | |
| טמפרטורת הפעלה מקסימלית | 460 מעלות צלזיוס |
| יעילות יירוט חלקיקים | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS ייחוס, כל החלקיקים) |
| ניקיון במורד הזרם | שחרור חלקיקים:< 0.03 חלקיקים/ליטר (< חלקיק אחד/רגל מעוקב) |
| חומרים נדיפים:< 10 ppb לחות | |
| גודל יירוט החלקיקים | ≥0.003 מיקרומטר |
| טווח זרימה | 0 ~ 120 סל"ד |
גוֹדֶל
הנה מספר החלק שניתן להזמין ופרטי הגודל:
| דגם מוצר | קצב זרימה | גובה (מ"מ) | דיוק סינון | רמת ניקוי |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 סל"ד | 51.6 | 0.003 מיקרומטר | C |
| Z01B-00638 | 40 סל"ד | 82.9 | 0.003 מיקרומטר | C |
| Z01B-00687 | 80 סל"ד | 126.2 | 0.003 מיקרומטר | C |
| Z01B-00688 | 120 סל"ד | 167.9 | 0.003 מיקרומטר | C |
יישומים אופייניים
לשימוש עם מערכות אספקת גז מודולריות להרכבה משטחית מסוג W-seal ו-C-seal, בגודל 1.125 אינץ' ו-1.5 אינץ'.
שלחו לנו את הודעתכם:
