מסנני גז מוליכים למחצה

מדוע צריך להשתמש במסנני גז בתהליך ייצור המוליכים למחצה? 

מסנני גז חיוניים בתהליך ייצור המוליכים למחצה מכמה סיבות קריטיות:

1. הסרת מזהמים

ייצור מוליכים למחצה כולל תהליכים רגישים רבים שבהם אפילו המזהמים הזעירים ביותר,

כמו חלקיקי אבק, לחות או שאריות כימיות עלולות להיות השפעות מזיקות. מסנני גז להסיר

חלקיקים, זיהומים ומזהמים הנישאים באוויר מגזי תהליך, הבטחת סביבה נקייה

ושמירה על שלמות פרוסות המוליכים למחצה.

2. שמירה על סטנדרטים אולטרה טוהר

תעשיית המוליכים למחצה דורשת רמות גבוהות ביותר של טוהר בגזים המשמשים, כפי שיכולים זיהומים

להוביל לפגמים בהתקני מוליכים למחצה. מסנני גז עוזרים להשיג איכות גז טהורה במיוחד, מונעים

זיהום והבטחת העקביות והאמינות של המוצרים.

3. ציוד הגנה

מזהמים בגזים יכולים לא רק לפגוע בפרוסות המוליכים למחצה אלא גם לפגוע ברגישים

ציוד המשמש בתהליך הייצור, כגון כורי כימיקלים (CVD) ו

מערכות תחריט. מסנני גז מגנים על מכונות יקרות אלה מפני נזק, ומפחיתים את הסיכון של

זמן השבתה ותיקונים יקרים.

4. מניעת אובדן תשואה

התפוקה היא קריטית בייצור מוליכים למחצה, שם פגמים יכולים לגרום לאובדן משמעותי בייצור.

אפילו חלקיק בודד או זיהום כימי עלול לגרום לאובדן תשואה, להשפיע על הפריון והרווחיות.

מסנני גז מבטיחים שגזי התהליך יהיו טהורים, ממזערים את הזיהום ומפחיתים את אובדן התפוקה.

5. הבטחת איכות המוצר

עקביות ואיכות הם חשיבות עליונה בייצור מוליכים למחצה. גזים מזוהמים עלולים ליצור

חוסר עקביות, מה שמוביל להתקני מוליכים למחצה לא אמינים. על ידי שימוש במסנני גז, היצרנים יכולים

להבטיח שכל אצווה עומדת בתקני האיכות המחמירים הנדרשים, מה שמוביל למכשיר גבוה יותר

ביצועים ואריכות ימים.

6. צמצום זמן השבתה

מזהמים בגזי תהליך עלולים לגרום לכשל בציוד, המחייב תחזוקה או החלפה.

על ידי שימוש במסנני גז, היצרנים יכולים להפחית זמן השבתה בלתי צפוי, לשמור על יעילות תפעולית, וכן

להאריך את תוחלת החיים של ציוד קריטי.

7. תאימות כימית

רבים מהגזים המשמשים בתהליכי מוליכים למחצה הם מאוד תגובתיים או קורוזיביים. מסנני גז הם

נועד לעמוד בסביבות כימיות קשות אלו תוך סינון יעיל של זיהומים, מבטיח

עיבוד בטוח ויעיל.

בסך הכל, מסנני גז חיוניים לשמירה על הטוהר, האמינות והבטיחות של המוליך למחצה

תהליך ייצור, עוזר להשיג מוצרים מוליכים למחצה באיכות גבוהה ללא פגמים תוך כדי

גם הגנה על ציוד יקר ערך.

סוגי מסנני גז בתהליך ייצור מוליכים למחצה

בתהליך הייצור של מוליכים למחצה, סוגים שונים של מסנני גז משמשים לטיפול במגוון

שלבים ואתגרים הקשורים לטוהר הגז ולהגנה על ציוד.

סוגי מסנני הגז הנפוצים כוללים:

1. מסנני חלקיקים

*מַטָרָה: כדי להסיר חלקיקים, אבק ומזהמים מוצקים אחרים מגזי תהליך.

*נוֹהָג: מותקן לעתים קרובות בשלבים שונים כדי להגן על פרוסות, תאי תהליך וציוד מפני זיהום חלקיקים.

*חומרים: עשוי בדרך כלל מפלדת אל-חלד מרוסנת, PTFE או חומרים אחרים המבטיחים עמידות ותאימות כימית.

2. מסננים מולקולריים או כימיים (מסנני גטר)

*מַטָרָה: כדי להסיר מזהמים מולקולריים ספציפיים, כגון לחות, חמצן או תרכובות אורגניות, שעלולים להיות נוכחים בגזי תהליך.

*נוֹהָג: משמש כאשר נדרש גז בטוהר גבוה, כגון במהלך תהליכי שקיעה או תחריט.

*חומרים: נבנה לעתים קרובות באמצעות פחם פעיל, זאוליט או חומרים סופחים אחרים שתוכננו במיוחד כדי ללכוד זיהומים מולקולריים.

3. מסנני גז בטוהר גבוה

*מַטָרָה: כדי להשיג תקני גז אולטרה-גבוה (UHP), שהוא קריטי עבור תהליכי מוליכים למחצה שבהם הטומאה הקלה ביותר יכולה להשפיע על איכות המוצר.

*נוֹהָג: מסננים אלה משמשים בתהליכים כמו שקיעת אדים כימית (CVD) ותחריט פלזמה, שבהם זיהומים עלולים לגרום לפגמים חמורים.

*חומרים: עשוי מפלדת אל חלד עם ממברנות מיוחדות לשמירה על שלמות בלחץ גבוה ובתנאים קיצוניים.

4. מסנני גז בתפזורת

*מַטָרָה: לטיהור גזים בנקודת הכניסה או לפני הפצה לקווי הייצור.

*נוֹהָג: ממוקם במעלה הזרם במערכת אספקת הגז כדי לסנן גזים בתפזורת לפני שהם מסופקים לכלים או לכורים בודדים.

*חומרים: למסננים אלה יש לרוב יכולת גבוהה לטיפול בכמויות גדולות של גזים.

5. מסנני גז לנקודת שימוש (POU).

*מַטָרָה: כדי להבטיח שהגזים המועברים לכל כלי עיבוד ספציפי נקיים מכל מזהמים.

*נוֹהָג: מותקן ממש לפני הכנסת הגזים לציוד התהליך, כגון תאי תחריט או תצהיר.

*חומרים: עשוי מחומרים התואמים את הגזים התגובתיים המשמשים בתהליכי מוליכים למחצה, כמו מתכת סינטרת או PTFE.

6. מסנני גז מוטבעים

*מַטָרָה: לספק סינון פנימי לגזים הנעים דרך מערכת ההפצה.

*נוֹהָג: מותקן בתוך קווי גז בנקודות מפתח, מספק סינון שוטף בכל המערכת.

*חומרים: פלדת אל חלד או ניקל מרובעת להבטחת תאימות כימית לגזים.

7. מסנני גז על פני השטח

*מַטָרָה: להרכבה ישירה על רכיבי לוח גז כדי להסיר חלקיקים ומזהמים מולקולריים.

*נוֹהָג: נפוצים בחללים צרים, מסננים אלו מספקים סינון יעיל בנקודת שימוש ביישומים קריטיים.

*חומרים: פלדת אל חלד בטוהר גבוה לעמידות ותאימות לגזי ייצור מוליכים למחצה.

8. מסנני תת מיקרון

*מַטָרָה: לסנן חלקיקים קטנים במיוחד, לרוב קטנים כמו גדלים תת-מיקרוניים, אשר עדיין יכולים לגרום לפגמים משמעותיים בתהליכי מוליכים למחצה.

*נוֹהָג: מנוצל בתהליכים הדורשים את רמת הסינון הגבוהה ביותר כדי לשמור על אספקת גז טהור במיוחד, כגון פוטוליתוגרפיה.

*חומרים: מתכת או קרמיקה מרוסנת בצפיפות גבוהה שיכולים ללכוד ביעילות אפילו את החלקיקים הקטנים ביותר.

9. מסנני פחם פעיל

*מַטָרָה: להסרת מזהמים אורגניים וגזים נדיפים.

*נוֹהָג: משמש ביישומים שבהם יש להסיר זיהומים גזים כדי למנוע זיהום פרוסות או הפרעות תגובה.

*חומרים: חומרים פחם פעיל שנועדו לספוח מולקולות אורגניות.

10.מסנני גז מתכת מרובעת

*מַטָרָה: להסרת חלקיקים וזיהומים ביעילות תוך מתן חוזק מבני ועמידות בפני לחץ גבוה.

*נוֹהָג: בשימוש נרחב לאורך שלבים מרובים של תהליך המוליכים למחצה שבהם יש צורך בסינון חזק.

*חומרים: עשוי בדרך כלל מפלדת אל חלד מרוסנת או מסגסוגות מתכת אחרות כדי לעמוד בפני סביבות קשות וכימיקלים.

11.מסנני גז הידרופוביים

*מַטָרָה: כדי למנוע חדירת לחות או אדי מים לזרם הגז, דבר קריטי בתהליכים מסוימים הרגישים אפילו לכמויות של לחות.

*נוֹהָג: משמש לעתים קרובות בתהליכים כמו ייבוש פרוסות או תחריט פלזמה.

*חומרים: ממברנות הידרופוביות, כגון PTFE, כדי להבטיח שהגזים יישארו נקיים מזיהום לחות.

סוגים שונים של מסנני גז אלו נבחרים בקפידה על סמך תכונותיהם הספציפיות, תאימות החומרים והתאמתם לתנאים הייחודיים של תהליכי ייצור מוליכים למחצה. השילוב הנכון של מסננים חיוני לשמירה על הרמה הגבוהה ביותר של טוהר הגז, הבטחת יציבות התהליך ומניעת פגמים בהתקני מוליכים למחצה.

כמה שאלות נפוצות לגבי מסנני גז מוליכים למחצה

שאלות נפוצות 1:

מהם מסנני גז מוליכים למחצה ומדוע הם חשובים?

מסנני גז מוליכים למחצה הם מרכיבים קריטיים בתהליך הייצור של מוליכים למחצה.

הם נועדו להסיר זיהומים ומזהמים מגזי תהליך, כגוןחַמצָן,

חנקן, מימן וגזים כימיים שונים.

זיהומים אלה יכולים להשפיע באופן משמעותי על האיכות, התפוקה והאמינות של התקני מוליכים למחצה.

על ידי סינון יעיל של זרמי גז, מסנני גז מוליכים למחצה עוזרים ל:

1. לשמור על טוהר גבוה:

ודא שהגזים המשמשים בתהליך הייצור נקיים ממזהמים שעלולים לפגוע בביצועי המכשיר.

2. מניעת נזק לציוד:

הגן על ציוד מוליכים למחצה רגיש מפני זיהום חלקיקים וכימיקלים, מה שעלול להוביל להשבתה ותיקונים יקרים.

3. שפר את תפוקת המוצר:

צמצם פגמים וכשלים הנגרמים על ידי זיהומים הנישאים בגז, וכתוצאה מכך תשואות ייצור גבוהות יותר.

4. שפר את אמינות המכשיר:

צמצם למינימום את ההתדרדרות ארוכת הטווח של התקני מוליכים למחצה עקב בעיות הקשורות לזיהום.

שאלות נפוצות 2:

מהם הסוגים הנפוצים של מסנני גז מוליכים למחצה?

מספר סוגים של מסנני גז משמשים בייצור מוליכים למחצה, כל אחד נועד להסרה

סוגים ספציפיים של מזהמים.

הסוגים הנפוצים ביותר כוללים:

1. מסנני חלקיקים:

מסננים אלה מסירים מזרמי גז חלקיקים מוצקים, כגון אבק, סיבים וחלקיקי מתכת.

הם עשויים בדרך כלל מחומרים כמו מסנני מתכת מחוטאת, קרמיקה או ממברנה.

2. מסננים כימיים:

מסננים אלה מסירים זיהומים כימיים, כגון אדי מים, פחמימנים וגזים קורוזיביים.

לעתים קרובות הם מבוססים על עקרונות ספיחה או ספיגה, תוך שימוש בחומרים כמו פחם פעיל,

מסננות מולקולריות, או סופחים כימיים.

3. מסננים שילוב:

מסננים אלו משלבים את היכולות של מסננים חלקיקים וכימיים כדי להסיר את שני הסוגים

מזהמים. הם משמשים לעתים קרובות ביישומים קריטיים שבהם טוהר גבוה הוא חיוני.

שאלות נפוצות 3:

כיצד נבחרים ומעצבים מסנני גז מוליכים למחצה?

הבחירה והעיצוב של מסנני גז מוליכים למחצה כוללים מספר גורמים, כולל:

*דרישות טוהר הגז:

רמת הטוהר הרצויה לזרם הגז הספציפי קובעת את יעילות הסינון ויכולת הסינון של המסנן.

*קצב זרימה ולחץ:

נפח הגז שיש לסנן ולחץ הפעולה משפיעים על גודל המסנן, החומר ותצורתו.

* סוג וריכוז מזהמים:

הסוגים הספציפיים של מזהמים הקיימים בזרם הגז מכתיבים את בחירת אמצעי הסינון ואת גודל הנקבוביות שלו.

*טמפרטורה ולחות:

תנאי ההפעלה יכולים להשפיע על ביצועי המסנן ותוחלת החיים שלו.

*עלות ותחזוקה:

יש לקחת בחשבון את העלות הראשונית של המסנן ואת דרישות התחזוקה השוטפות שלו.

על ידי שיקול זהיר של גורמים אלה, מהנדסים יכולים לבחור ולתכנן מסנני גז העונים על הספציפיות

הצרכים של תהליך ייצור מוליכים למחצה.

באיזו תדירות יש להחליף מסנני גז בייצור מוליכים למחצה?

תדירות ההחלפה של מסנני גז בייצור מוליכים למחצה תלויה במספר גורמים, כולל סוג

תהליך, רמת המזהמים וסוג המסנן הספציפי שבו נעשה שימוש. בדרך כלל, מסנני גז מוחלפים על בסיס קבוע

לוח זמנים לתחזוקה כדי למנוע כל סיכון לזיהום,לעתים קרובות כל 6 עד 12 חודשים, בהתאם לתנאי השימוש

וההמלצות של יצרן המסננים.

עם זאת, לוחות זמנים להחלפה יכולים להשתנות במידה רבה בהתבסס על סביבת ההפעלה. לְמָשָׁל:

*תהליכים בעלי זיהום גבוה:

ייתכן שיהיה צורך להחליף מסננים בתדירות גבוהה יותר אם הם נחשפים לרמות גבוהות של

זיהום חלקיקים או מולקולרי.

*יישומים קריטיים:

בתהליכים הדורשים טוהר גבוה במיוחד (למשל, פוטוליתוגרפיה), מסננים מוחלפים לעתים קרובות

מנע כדי להבטיח שאיכות הגז לא תיפגע.

ניטור לחץ דיפרנציאלי על פני המסנן הוא שיטה נפוצה לקביעה מתי צריך להחליף מסנן.

ככל שמצטברים מזהמים, ירידת הלחץ על פני המסנן גדלה, מה שמעיד על ירידה ביעילות.

חיוני להחליף מסננים לפני שיעילותם יורדת, שכן כל פגיעה בטוהר הגז עלולה לגרום לליקויים משמעותיים,

להפחית את התפוקה, ואף להוביל לנזק לציוד.

מאילו חומרים עשויים מסנני גז עבור יישומי מוליכים למחצה?

מסנני גז המשמשים ביישומי מוליכים למחצה עשויים מחומרים שיכולים לשמור על תקני הטוהר הגבוהים ביותר

ולעמוד בסביבות הקשות שנמצאות בייצור. חומרים נפוצים כוללים:

*נירוסטה (316 ליטר): החומר הנפוץ ביותר בשל עמידותו הכימית, חוזקו המכני, ו

היכולת להיות מפוברקת עם גדלי נקבוביות מדויקים באמצעות טכנולוגיית סינטר. זה מתאים לסינון שניהם תגובתיים

וגזים אינרטיים.

*PTFE (פוליטטראפלואורואתילן): PTFE הוא חומר אינרטי מבחינה כימית המשמש לסינון מאוד תגובתי או קורוזיבי

גזים. יש לו תאימות כימית מעולה ותכונות הידרופוביות, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור רגישים ללחות

תהליכים.

*ניקל והסטלוי:

חומרים אלה משמשים ליישומים בטמפרטורה גבוהה או לתהליכים הכוללים כימיקלים אגרסיביים

שבו נירוסטה עלולה להתפרק.

*קֵרָמִי:

מסננים קרמיים משמשים ליישומים שבהם נדרשת עמידות בטמפרטורה קיצונית, או עבור תת-מיקרון

סינון של חלקיקים.

בחירת החומר תלויה בסוג הגז, בנוכחות מינים תגובתיים, בטמפרטורה וכן

פרמטרים אחרים של תהליך. החומרים חייבים להיות לא תגובתיים כדי להבטיח שהם לא מכניסים זיהומים כלשהם

או חלקיקים לתוך התהליך, ובכך לשמור על רמות טוהר הגז הנדרשות לייצור מוליכים למחצה.

מה התפקיד של מסנני נקודת שימוש (POU) בייצור מוליכים למחצה?

מסנני נקודת שימוש (POU) חיוניים בייצור מוליכים למחצה, מכיוון שהם מבטיחים טיהור גזים מיד לפני

כניסה לכלי התהליך. מסננים אלה מספקים הגנה סופית מפני מזהמים שעלולים להיכנס לזרם הגז

במהלך אחסון, הובלה או הפצה, ובכך לשפר את יציבות התהליך ואיכות המוצר.

היתרונות העיקריים של מסנני POU:

*ממוקם קרוב לציוד קריטי (למשל, תאי תחריט או תצהיר) כדי למנוע זיהום מלהגיע לפרוסה.

*הסר גם זיהומים חלקיקים וגם מולקולריים שעלולים להיות מוכנסים על ידי מערכת הטיפול בגז או חשיפה סביבתית.

*הקפד על אספקת איכות הגז הגבוהה ביותר לכלי התהליך, הגנה על הציוד ושיפור איכות המכשירים המיוצרים.

*הפחת את השונות בתהליך, הגדל את התפוקה והקטנת רמות הפגמים.

*חיוני בסביבות מוליכים למחצה מתקדמות בהן אפילו זיהומים קלים יכולים להשפיע באופן משמעותי על הפרודוקטיביות ועל אמינות המוצר.

כיצד מסנני גז מונעים השבתת ציוד בתהליכי מוליכים למחצה?

מסנני גז מונעים השבתת ציוד בתהליכי מוליכים למחצה על ידי הבטחת גזי תהליך נקיים באופן עקבי.

מזהמים שעלולים לגרום נזק לציוד הייצור. ייצור מוליכים למחצה כרוך בשימוש מאוד

ציוד רגיש, כולל תאי שקיעה, מכונות תחריט פלזמה ומערכות פוטוליטוגרפיה.

אם מזהמים כגון אבק, לחות או זיהומים תגובתיים נכנסים למכונות אלו, הם עלולים לגרום למגוון של בעיות,

מסתימת שסתומים וחיריים ועד פגיעה במשטחי פרוס או בפנים הכור.

על ידי שימוש במסנני גז איכותיים, היצרנים מונעים את החדרת המזהמים הללו, ומפחיתים את הסבירות של

תחזוקה לא מתוכננת ותקלות ציוד. זה עוזר בשמירה על לוחות זמנים יציבים של ייצור, מזעור

זמן השבתה יקר, והימנעות מההוצאות המשמעותיות הכרוכות בתיקונים או החלפות.

בנוסף, מסננים מתוחזקים היטב עוזרים להאריך את תוחלת החיים של רכיבים מרכזיים, כגון בקרי זרימה, שסתומים וכורים,

ובכך לשפר את היעילות והרווחיות הכוללת של תהליך הייצור.

אז אחרי שתבדוק כמה פרטים על מסנני גז מוליכים למחצה, אם עדיין יש לך עוד כמה שאלות.

מוכן לייעל את תהליך ייצור המוליכים למחצה שלך עם פתרונות סינון גז באיכות גבוהה?

צור קשר עם HENGKO עוד היום לקבלת הכוונה מומחית ופתרונות מותאמים לצרכים שלך.

לאחר שבדקתי כמה פרטים מידע על מסנן גז מוליכים למחצה, אם יש לך שאלות נוספות?

מוכן לייעל את תהליך ייצור המוליכים למחצה שלך עם פתרונות סינון גז באיכות גבוהה?

צור קשר עם HENGKO עוד היום לקבלת הכוונה מומחית ופתרונות מותאמים לצרכים שלך.

שלח לנו דוא"ל בכתובתka@hengko.comלמידע נוסף.

הצוות שלנו כאן כדי לעזור לך לשפר את יעילות הייצור ואיכות המוצר שלך.